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無油真空泵 潤滑微型真空泵，具有高效節(jié)能、安全環(huán)保、低噪音的特點，而且運行平穩(wěn)、高可靠性、長壽命、無油易維護(hù)；可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備、汽車工業(yè)、自動控制、分析儀器、生物制藥等領(lǐng)域，是純凈和環(huán)保真空的理想選擇。

可編程精密不銹鋼勻膠機，采用高精度工業(yè)伺服電機，配置8英寸人機界面，清晰的編程程序界面設(shè)置，易學(xué)易用。是半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器設(shè)備。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所，實驗室級的研究開發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，可編程不銹鋼勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

不銹鋼勻膠機HC150P：E可編程勻膠機，采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，高分子HDPE耐腐蝕內(nèi)腔，4.3英寸觸摸屏，工業(yè)級直流電機及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設(shè)計，美觀大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 　　不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱內(nèi)操作。HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，美觀耐腐蝕，經(jīng)久耐用。

精密旋涂儀：采用高級PLC 全自動程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好?？捎糜谖㈦娮印雽?dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

HC220可編程旋涂儀/勻膠機，采用高精度工業(yè)伺服電機，配置8英寸人機界面，清晰的編程程序界面設(shè)置，易學(xué)易用。適合半導(dǎo)體行業(yè)及科研院所，實驗室級的研究開發(fā)

HC220PE精密勻膠機 HDPE高分子內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計，有效防濺；可編程寫和存儲100組程序，每組100步